精準到“百萬分之一克”——江蘇希太芯：向存儲芯片量測前沿領域進軍

昨日，記者經過嚴格的風淋除塵程序，身著全套防塵裝備走進南通高新區江蘇希太芯科技有限公司的潔凈車間。在恒溫恒濕的環境中，技術人員正專注地調試著一臺微克級質量計量設備，設備指示燈規律閃爍，機械臂精準操控著晶圓樣本。

“這是我們突破美國技術封鎖的存儲芯片關鍵量測設備。”公司總經理楊亮亮指著設備觸控屏介紹，該設備通過微克級（±1μg）質量監測技術，實時反饋晶圓鍍膜/蝕刻等工藝的均勻性偏差，填補了國內存儲芯片制造中高精度量測設備的空白，并已獲得國內頭部存儲芯片制造商的試用認證。

半導體制造素有“在指甲蓋上建造摩天大樓”之稱。每顆存儲芯片的誕生，都要經歷光刻、蝕刻、離子注入等多道精密工序，在極小的空間內集成數以億計的晶體管。任何細微的工藝偏差都可能導致整批產品報廢。隨著制程工藝不斷升級，傳統檢測技術（如光學形貌測量）在部分工藝節點的量測精度已接近極限。正是基于這一行業痛點，希太芯科技經過持續攻關，成功研發出國內首臺基于微克級質量反饋的工藝控制設備，通過實時監測晶圓在鍍膜/蝕刻過程中的質量變化（靈敏度±1μg），間接推算出薄膜厚度均勻性或刻蝕速率偏差，效率較傳統光學檢測提升數十倍，逐步替代部分光學設備。

“每一個技術突破的背后，都是無數個不眠之夜。”楊亮亮感慨。微克級的量測精度意味著要克服環境氣流、靜電干擾等無數挑戰。通過自主研發環境補償系統，經過上千次測試，團隊最終攻克了這一技術難關。

據了解，微克級質量計量設備市場長期被美國企業壟斷，單臺設備售價高達數千萬元。希太芯科技的成功研發不僅打破了國外技術壟斷，更將設備成本降低30%，同時達到了國際領先的量測精度。2024年，公司順利通過國內頭部晶圓廠的驗證審核，成為存儲芯片龍頭企業的核心供應商。“我們的設備將應用于存儲芯片生產的多道關鍵工序，預計未來幾年需求量突破百臺。”楊亮亮展示著手中的市場分析報告，信心十足。

談及企業發展，楊亮亮特別感謝南通高新區的培育和支持：“自2020年作為重點人才企業落戶以來，我們累計獲得省‘雙創人才’、市‘江海英才’等近500萬元政策扶持，政府部門的精準扶持和本地產業鏈的協同效應為企業發展提供了有力保障。公司今年銷售額有望突破5000萬元。”

在企業展廳的專利墻前，楊亮亮表示：“未來，希太芯將向HBM存儲芯片的先進檢測設備等前沿領域進軍，持續為國產高端半導體設備發展貢獻力量。”

本網記者 黃艷鳴 本報通訊員 許燕