精準(zhǔn)到“百萬(wàn)分之一克”——江蘇希太芯：向存儲(chǔ)芯片量測(cè)前沿領(lǐng)域進(jìn)軍

昨日，記者經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的風(fēng)淋除塵程序，身著全套防塵裝備走進(jìn)南通高新區(qū)江蘇希太芯科技有限公司的潔凈車(chē)間。在恒溫恒濕的環(huán)境中，技術(shù)人員正專(zhuān)注地調(diào)試著一臺(tái)微克級(jí)質(zhì)量計(jì)量設(shè)備，設(shè)備指示燈規(guī)律閃爍，機(jī)械臂精準(zhǔn)操控著晶圓樣本。

“這是我們突破美國(guó)技術(shù)封鎖的存儲(chǔ)芯片關(guān)鍵量測(cè)設(shè)備?！惫究偨?jīng)理?xiàng)盍亮林钢O(shè)備觸控屏介紹，該設(shè)備通過(guò)微克級(jí)（±1μg）質(zhì)量監(jiān)測(cè)技術(shù)，實(shí)時(shí)反饋晶圓鍍膜/蝕刻等工藝的均勻性偏差，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)存儲(chǔ)芯片制造中高精度量測(cè)設(shè)備的空白，并已獲得國(guó)內(nèi)頭部存儲(chǔ)芯片制造商的試用認(rèn)證。

半導(dǎo)體制造素有“在指甲蓋上建造摩天大樓”之稱(chēng)。每顆存儲(chǔ)芯片的誕生，都要經(jīng)歷光刻、蝕刻、離子注入等多道精密工序，在極小的空間內(nèi)集成數(shù)以?xún)|計(jì)的晶體管。任何細(xì)微的工藝偏差都可能導(dǎo)致整批產(chǎn)品報(bào)廢。隨著制程工藝不斷升級(jí)，傳統(tǒng)檢測(cè)技術(shù)（如光學(xué)形貌測(cè)量）在部分工藝節(jié)點(diǎn)的量測(cè)精度已接近極限。正是基于這一行業(yè)痛點(diǎn)，希太芯科技經(jīng)過(guò)持續(xù)攻關(guān)，成功研發(fā)出國(guó)內(nèi)首臺(tái)基于微克級(jí)質(zhì)量反饋的工藝控制設(shè)備，通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)晶圓在鍍膜/蝕刻過(guò)程中的質(zhì)量變化（靈敏度±1μg），間接推算出薄膜厚度均勻性或刻蝕速率偏差，效率較傳統(tǒng)光學(xué)檢測(cè)提升數(shù)十倍，逐步替代部分光學(xué)設(shè)備。

“每一個(gè)技術(shù)突破的背后，都是無(wú)數(shù)個(gè)不眠之夜。”楊亮亮感慨。微克級(jí)的量測(cè)精度意味著要克服環(huán)境氣流、靜電干擾等無(wú)數(shù)挑戰(zhàn)。通過(guò)自主研發(fā)環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)，經(jīng)過(guò)上千次測(cè)試，團(tuán)隊(duì)最終攻克了這一技術(shù)難關(guān)。

據(jù)了解，微克級(jí)質(zhì)量計(jì)量設(shè)備市場(chǎng)長(zhǎng)期被美國(guó)企業(yè)壟斷，單臺(tái)設(shè)備售價(jià)高達(dá)數(shù)千萬(wàn)元。希太芯科技的成功研發(fā)不僅打破了國(guó)外技術(shù)壟斷，更將設(shè)備成本降低30%，同時(shí)達(dá)到了國(guó)際領(lǐng)先的量測(cè)精度。2024年，公司順利通過(guò)國(guó)內(nèi)頭部晶圓廠(chǎng)的驗(yàn)證審核，成為存儲(chǔ)芯片龍頭企業(yè)的核心供應(yīng)商?！拔覀兊脑O(shè)備將應(yīng)用于存儲(chǔ)芯片生產(chǎn)的多道關(guān)鍵工序，預(yù)計(jì)未來(lái)幾年需求量突破百臺(tái)。”楊亮亮展示著手中的市場(chǎng)分析報(bào)告，信心十足。

談及企業(yè)發(fā)展，楊亮亮特別感謝南通高新區(qū)的培育和支持：“自2020年作為重點(diǎn)人才企業(yè)落戶(hù)以來(lái)，我們累計(jì)獲得省‘雙創(chuàng)人才’、市‘江海英才’等近500萬(wàn)元政策扶持，政府部門(mén)的精準(zhǔn)扶持和本地產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同效應(yīng)為企業(yè)發(fā)展提供了有力保障。公司今年銷(xiāo)售額有望突破5000萬(wàn)元。”

在企業(yè)展廳的專(zhuān)利墻前，楊亮亮表示：“未來(lái)，希太芯將向HBM存儲(chǔ)芯片的先進(jìn)檢測(cè)設(shè)備等前沿領(lǐng)域進(jìn)軍，持續(xù)為國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展貢獻(xiàn)力量?！?/p>

本網(wǎng)記者 黃艷鳴 本報(bào)通訊員 許燕